Halbleiterlaser am Fraunhofer IAF

Halbleiterlaser sowie Bauelemente für Infrarotspektroskopie und als Wegbereiter für Quantenkommunikation

Vom Design und Material bis zum System

Das Fraunhofer IAF entwickelt III-V-Halbleiterlaser und Bauelemente für Anwendungen in der Sensorik, Kommunikation sowie Mess- und Medizintechnik. Das Institut bietet Bauteildesign sowie deren Fertigung und baut Module sowie Systeme mit Bauelementen mit einzigartigen Eigenschaften.

Sie erhalten Unterstützung entlang der kompletten Wertschöpfungskette: Insbesondere mit spezifischen Epitaxie- und Technologieentwicklungen, der Entwicklung automatisierbarer Fertigungsroutinen für aktiv einzujustierende Lasermodule bis hin zur Bereitstellung von Kleinserien. 

Optisch gepumpte Halbleiterscheibenlaser

  • Emissionsbereich: 1,9–2,8 µm
  • Klasse-A-Laser mit genau abstimmbarer Emissionswellenlänge
    • Ideale Pumpquelle für Festkörperlaser innerhalb wie außerhalb von Resonatoren sowie für nichtlineare optische Kristalle

Quantenkaskadenlaser

  • Wellenlängenbereich: 4–12 µm
  • Scanfrequenz bis zu 1 kHz
  • Breit durchstimmbar
  • Kompakte und kombinierbare Module 
Einmodiges Halbleiter-Scheibenlaser-Modul mit bis zu 2,4 W Ausgangsleistung für den Frequenzbereich zwischen 1,9 und 2,5 µm, entwickelt als Pumpquelle für Quantenfrequenzkonverter, © Fraunhofer IAF
© Fraunhofer IAF
Einmodiges Halbleiter-Scheibenlaser-Modul entwickelt als Pumpquelle für Quantenfrequenzkonverter

Optisch gepumpte Halbleiter-Scheibenlaser als extrem schmalbandige und rauscharme Pumplaser

Die optisch gepumpten GaSb-basierten Halbleiterscheibenlaser (SDLs) für den Spektralbereich von 1.9–2.8 µm des Fraunhofer IAF zeichnen sich durch hervorragende Strahlqualität, hohe Ausgangsleistungen und eine stabile, rauscharme Laseremmission aus. Sie setzen weltweit Maßstäbe in Hinblick auf Ausgangsleistung, Linienbreite und absolute Frequenzstabilität, wie sie beispielsweise für die Pumpquelle bei der Quantenfrequenzkonversation von Einzelphotonen benötigt werden.

Lasermodule in einem abgedunkelten Labor
© Fraunhofer IAF
Drei Generationen von MOEMS-EC-QCL-Modulen

Quantenkaskadenlaser für Infrarotspektroskopie

Das Fraunhofer IAF entwickelt Quantenkaskadenlaser für den mittleren Infrarotbereich von 4-12 µm. Durch die Kombination von diesen breitbandigen QCL-Chips mit MOEMS-Gitterscannern, welche zusammen mit dem Fraunhofer IPMS entwickelt wurden und zur Einstellung der Emissionswellenlänge in einem externen optischen Resonator dienen, konnten besonders kompakte Lasermodule mit einzigartigen Eigenschaften erzielt werden. Das Fraunhofer IAF ist dabei führend in der Kombination mehrerer dieser Quellen zu einer extrem breitbandigen und darüber hinaus agilen Laserquelle, welche Infrarotspektroskopie mit Kilohertzraten ermöglicht.

© Fraunhofer IAF
REM-Bild der Facette eines gespaltenen AlGaAs-Bragg-Reflexions-Rippenwellenleiters

AlGaAs-Bragg-Reflektionswellenleiter als chipbasierte Quelle für verschränkte Photonenpaare im Telekom-C-Bereich 

AlGaAs-Bragg-Reflexionswellenleiter sind vielversprechende Systeme für die Erzeugung von einzelnen und verschränkten Photonen im Telekom-C-Bereich bei 1550 nm durch den Prozess der spontanen parametrischen Abwärtskonversion (SPDC). Bei dem von uns verwendeten Typ-II-SPDC-Prozess sind die Photonenpaare von Natur aus polarisationsverschränkt. Neben dem Raumtemperaturbetrieb ermöglicht die verwendete Materialplattform die direkte Integration eines Pumplasers in denselben Chip, dessen technische Umsetzung wir gerade erforschen.

Das Infrarot-Messsystem in einer dunklen Umgebung.
© Fraunhofer IAF
Die Forschenden des Fraunhofer IAF entwickeln Messsysteme, die die unterschiedliche Zusammensetzung von Tabletten in einem Blister anhand des charakteristischen Infrarot-Fingerabdrucks ihrer Inhaltsstoffe in Echtzeit identifizieren können.

Quantenkaskadenlaser in der Anwendung

Neben Lasermodulen entwickeln wir auch Demonstratoren, in denen die Quantenkaskadenlasermodule des Fraunhofer IAF zum Einsatz kommen. Diese ermöglichen durch die kontaktlose Messung des chemischen Fingerabdrucks von Substanzen beispielsweise die Qualitätssicherung bei der Tablettenverblisterung im Pharmabereich oder die forensische Untersuchung an Tatorten.  

 

AppLab Infrarot-Laser-Spektroskopie

Im Applikationslabor demonstrieren wir verschiedene Anwendungsfälle unserer Quantenkaskadenlaser.

Fragen, Beratung, Zusammenarbeit

Erhalten Sie spezifische Informationen zu Ihrem Themenfeld und lassen Sie sich persönlich beraten. Kooperieren Sie mit uns in einem Projekt oder beauftragen Sie uns.

Beispiele für Halbleiterlaser-Entwicklungen

Die Fähigkeiten des Fraunhofer IAF im Bereich der Halbleiterlaser stehen wissenschaftlichen Einrichtungen und Unternehmen sowohl für die Durchführung von Forschungs- und Entwicklungsprozessen als auch im Rahmen von Direktaufträgen zur Verfügung. In gelungenen Kooperationen entstehen regelmäßig herausragende Ergebnisse.

Halbleiter-Scheibenlaser-Modul (VECSEL) im 2-µm-Bereich

  • 2062 nm Emissionswellenlänge
  • 2,5 W Ausgangsleistung CW
  • Einzelfrequenz
  • geringes Intensitätsrauschen (0,15 % RMS)
  • Freilaufend: Drift kleiner 7 pm über 15 h
  • Aktiv stabilisiert auf Frequenzkamm:
    • Linienbreite 360 kHz (FWHM)
    • Standardabweichung der Emissionswellenlänge über 22 h:
      104 kHz (1,5 fm)
Scheibenlaser-Aufbau zur Entwicklung einer rauscharmen Pumpquelle für die Quantenfrequenzkonversion, © Fraunhofer IAF
© Fraunhofer IAF
Scheibenlaser-Aufbau zur Entwicklung einer rauscharmen Pumpquelle für die Quantenfrequenzkonversion

4-Kern-Quantenkaskadenlaser-Modul im 4–11-µm-Bereich

  • Multikern-Modul mit integrierter Strahlvereinigung
  • Bestückbar mit bis zu 4 spektral abstimmbaren MOEMS-EC-QCLs mit Zentralwellenlängen zwischen 4 und 11 µm.
  • Abstimmbereich Einzelmodul 200–330 cm-1, abhängig vom verwendeten QCL-Chip
  • Pulsbetrieb, typ. 100–200 ns
  • Spektroskopie über 1000 cm-1 mit Messgeschwindigkeit von 1 kHz 
Offenes Gehäuse mit vier Quantenkaskadenlasermodulen und weiteren Komponenten
© Fraunhofer IAF
Multikernsystem des Fraunhofer IAF mit vier teilautomatisiert gefertigten MOEMS-EC-QCL-Modulen

Quelle für verschränkte Photonenpaare

  • Telekom-C-Band (1530–1565 nm)
  • Chipgröße von wenigen Quadratmillimetern
  • Photonenerzeugungsrate 20 MHz bei 5 mW externer Pumpleistung
  • Fidelity zum Bell-Zustand > 95 %
© Fraunhofer IAF
Simuliertes Profil einer Bragg-Reflexions-Lichtwellenmode in einem AlGaAs-Bragg-Reflexions-Rippenwellenleiter

Forschungs- und Entwicklungsportfolio

Epitaxie, Prozessierung, Charakterisierung, Modulintegration

Epitaxie

  • Quantenkaskadenlaser (QCL)
  • VCSEL
  • VECSEL
  • Diode lasers (GaAs, InP GaSb)

Technologien, Bauelemente, Schaltungen

  • QCL-buried-het-Strukturierung
  • Rippen- und Trapez-Laserprozessierung
  • Facettenbeschichtung

Aufbau, Module, Charakterisierung

  • Chip auf Submount
  • MOEMS-EC-QCL-Module
  • VCSEL-Module

Service-Angebot für Halbleiterlaser

Unsere Fähigkeiten

  • Design, Epitaxie und Prozesstechnologie für Infrarot-Halbleiterlaser
  • MBE- und MOCVD-Epitaxie
  • Individuelle Technologieentwicklung auf 4“
  • Charakterisierung von Bauelementen und Modulen
  • Anfertigung von Demonstratoren
  • Kleinserienfertigung

 

Quantenkaskadenlaser

  • AlGaAs/InGaAs auf InP-basierende Quantenkaskadenlaser
  • Design und Epitaxie sowie Buried-Heterostructure-Prozessierung
  • Aufbautechnik (Facettenbeschichtung, Chip-on-Submount, Chip-on-Heatsink)
  • Charakterisierung
  • Hochleistungsquantenkaskadenlasermodule
  • MOEMS-EC-QCL-Module (Datenblatt-Download)

 

Halbleiterscheibenlaser

  • GaSb-basierte Scheibenlaser im Wellenlängenbereich 1,9–2,8 µm 
  • Epitaxie von III-V-Heterostrukturen für Scheibenlaser sowie Design, Aufbau und Charakterisierung von Bauelementen
  • Hochleistungsscheibenlasermodule
    (gepulst oder Dauerstrich)
  • Multimodale Emissionsspektren (Breite: 15–25 nm), Leistung: 1–4 W, Strahlqualität: M2 < 3 bis M2 < 1,6
  • Einzelfrequenz- und breit durchstimmbare Scheibenlasermodule
  • Schmale Linienbreite (100 kHz), Leistung: 1–2 W, Strahlqualität: M2 < 1,1, Intensitätsrauschen: < 0,3 % RMS

Weitere Informationen

Flyer zum Download

Informieren Sie sich über unsere Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten und unser Leistungsangebot.

Wissenschaftliche Publikationen

Hier finden Sie aktuelle Forschungsergebnisse des Fraunhofer IAF im Bereich Optoelektronik.

Kooperationsmöglichkeiten

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