Diamantbauelemente

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Bauelemente auf der Basis von Diamant, Graphen und AlScN

Im Geschäftsfeld »Diamantbauelemente« entwickeln wir Komponenten und Bauelemente auf Basis von einkristallinem und nanokristallinem Diamant. Dies umfasst sowohl die Herstellung von hochreinen und gezielt dotierten Diamantschichten mittels Plasma-CVD als auch die Entwicklung von Verfahren zur weiteren Bearbeitung des Diamant wie Laserschneiden, Schleifen und Polieren, Plasmaätzen sowie Aufbringen von Metallisierungen. Weiterhin arbeiten wir an der Erforschung und Entwicklung neuer Materialien, zum Beispiel hochwertige Graphen-Schichten und -Flocken sowie AlScN-Schichten für piezoelektrische Filter.

 

Die Forschungsschwerpunkte sind:

  • Diamant-Linsen für Hochleistungslaser
  • Diamant-Wärmespreizer
  • Diamant-Schottky-Dioden
  • MEMS und NEMS auf der Basis von nanokristallinem Diamant
  • Diamant-Elektroden für elektro- und bio-chemische Sensoren
  • Defektzentren in Diamant für Quantenmagnetometrie und Einzelphotonenquellen

Key Publications

Auszüge aus unseren Jahresberichten