Mit dem fachlichen Schwerpunkt auf »Smart Microsystems« zeigte der erste FMD-Innovation Day 2018 am 27. und 28. September 2018 weiter in Richtung Zukunft der Mikroelektronik in Deutschland. Themen waren unter anderem autarke Mikrosysteme, Umfeldsensorik mit LiDAR und Smarte Sensorik in der Industrie.

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Größte Forschungskooperation zur Mikroelektronik in Europa nimmt ihre ersten Anlagen in Betrieb

Einweihung der ersten Integrationslinie beim FMD Innovation Day 2018

Einfacher Zugang zu Zukunftsentwicklungen und bundesweit koordiniertes Technologie-Know-how aus einer Hand – das verspricht die Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD). Eineinhalb Jahre nach dem Projektstart weihten nun die Kooperationspartner gemeinsam mit dem Fördergeber BMBF das neue Forschungsequipment ein. Die feierliche Inbetriebnahme erfolgte im Rahmen des ersten FMD Innovation Day. Das Fraunhofer IAF zeigte seine leistungsstarke Radarsensorik.

In den letzten Monaten waren die FMD Mitgliedsinstitute – 11 Fraunhofer-Institute des Verbunds Mikroelektronik und die Leibniz-Institute FBH und IHP – intensiv damit beschäftigt, das standortübergreifende Netzwerk auszubauen. Nun gehen die ersten Anschaffungen für die Modernisierung der Laboranlagen aus der 350 Mio. Euro Fördersumme des Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF) in Betrieb.

Gemeinsam mit voller Kraft voraus – Beim symbolischen Akt zur Eröffnung der ersten FMD-Integrationslinie; v.l.n.r.: Prof. Matthias Kleiner, Präsident der Leibniz-Gemeinschaft, Prof. Georg Rosenfeld, Mitglied des Vorstands der Fraunhofer-Gesellschaft, Dr. Michael Meister, Parl. Staatssekretär bei der Bundesministerin für Bildung und Forschung und Prof. Hubert Lakner, Vorsitzender des Lenkungskreises der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland.
© Fraunhofer Mikroelektronik / Uwe Steinert

Gemeinsam mit voller Kraft voraus – Beim symbolischen Akt zur Eröffnung der ersten FMD-Integrationslinie; v.l.n.r.: Prof. Matthias Kleiner, Präsident der Leibniz-Gemeinschaft, Prof. Georg Rosenfeld, Mitglied des Vorstands der Fraunhofer-Gesellschaft, Dr. Michael Meister, Parl. Staatssekretär bei der Bundesministerin für Bildung und Forschung und Prof. Hubert Lakner, Vorsitzender des Lenkungskreises der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland.

Das Fraunhofer IAF zeigte interessierten Besucher seinen neusten Demonstrator zur hochpräzisen Radarsensorik.
© Fraunhofer IAF

Das Fraunhofer IAF zeigte interessierten Besucher seinen neusten Demonstrator zur hochpräzisen Radarsensorik.

Feierliche Einweihung der Integrationslinie

Am IAF wurden 2018 zum Beispiel eine neue Anlage für das »Chemical Mechanical Polishing« und eine Plasma-Aktivierung für das Waferbonden beschafft. Im Reinraum konnten dank der Unterstützung durch die FMD ein neuer Laserbelichter für optische Lithographieprozesse und ein Sprühbelacker beschafft werden. Stellvertretend für diese neuen technologischen Fähigkeiten weihten die Partner, gemeinsam mit dem Fördergeber, die erste FMD Integrationslinie am Berliner Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM ein – Dr. Michael Meister, Parl. Staatssekretär bei der Bundesministerin für Bildung und Forschung, Prof. Matthias Kleiner, Präsident der Leibniz-Gemeinschaft, Prof. Georg Rosenfeld, Mitglied des Vorstands der Fraunhofer-Gesellschaft und Prof. Hubert Lakner, Vorsitzender des Lenkungskreises der FMD. Mehr als 120 Gäste hatten beim Innovation Day die Möglichkeit, selbst einen Blick auf die Anlagen im Reinraum des Gastgebers zu werfen. Parallel wurden filmische Einblicke auf den aktuellen Stand des Modernisierungsfortschritts aller 13 Mitgliedinstitute gewährt und somit der Zusammenschluss der bundesweiten Mikro- und Nanoelektronikforschung veranschaulicht.

Entwicklungen vom ersten Entwurf bis zum fertigen System

Am ersten Tag des diesjährigen FMD Innovation Day hatten die Veranstaltungsteilnehmerinnen und -teilnehmer die Möglichkeit, sich in Vortrags-Sessions zu autarken Mikrosystemen, LiDAR und Industrie 4.0 über die neusten technologischen Beiträge der FMD zu informieren sowie mit Experten und Anwendern auszutauschen. In der begleitenden Fachausstellung rund um das diesjährige Veranstaltungs-Thema »Smart Micro Systems« untermalten die Mitgliedsinstitute ihr Technologie-Know-how mit visuellen Highlights und Live-Demonstratoren. Das Fraunhofer IAF zeigte seinen leistungsstarken Radarsensor, der in Echtzeit verpackte Güter analysiert.

 

Der nächste FMD Innovation Day wird 2019 am Leibnitz-Institut für innovative Mikroelektronik IHP stattfinden.

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