Planare short-wave IR-Detektoren mit geringen Dunkelstromdichten

Für den Einsatz zur Überwachung und Aufklärung im Spektralbereich des kurzwelligen Infrarot (SWIR) benötigen aktive wie auch passive Kamerasysteme die Fähigkeit zum Nachweis äußerst geringer Photonenflüsse. Das Fraunhofer IAF entwickelt hierzu Materialwachstums- und Prozesstechnologien für bildgebende SWIR-Detektoren auf Basis von InGaAs-Photodioden mit sehr hoher Detektionsempfindlichkeit und geringer Dunkelstromdichte.

 

Projekttitel SWIR-plan – Planare short-wave Infrarot-Detektoren mit geringen Dunkelstromdichten  
Laufzeit 2015 – 2017  
Fördermittelgeber Bundesministerium der Verteidigung
 
Kooperationspartner AIM Infrarot-Module GmbH, Heilbronn  
Projektleiter Dr. Frank Rutz
 
Ziele
  • InGaAs-basierte SWIR-Detektoren mit hoher Empfindlichkeit und geringem Dunkelstrom
  • Entwicklung angepasster Epitaxieverfahren auf Basis von Molekularstrahlepitaxie und Metallorganischer Chemischer Gasphasenabscheidung
  • Entwicklung eines planaren Prozesses zur Pixelstrukturierung mittels selektiver Zink-Diffusion
  • Prototyp einer hochempfindlichen SWIR-Kamera im Format 640 x 512 mit 15 µm Rastermaß
 
Publikation
Infrared photodetector development at Fraunhofer IAF.
Rutz, F.; Kleinow, P.; Walther, M.; Aidam, R.; Bronner, W.; Kirste, L.; Niemasz, J.; Rehm, R.; Schmitz, J.; Stadelmann, T.; Wauro, M.; Wörl, A.; Sieck, A.; Ziegler, J.
In: Proc. SPIE 8993, Quantum Sensing and Nanophotonic Devices XI, 89930W (18. Dez. 2013); doi: 10.1117/12.2039521