Komplexe Optiken aus monokristallinem Diamant

© Fraunhofer IAF

Schnelles und paralleles Wachstum von sieben Diamantproben während des CVD-Plasmaprozesses.

Ziel des Projekts ist es, Linsen aus einkristallinem Diamant zu fertigen, die den hohen Anforderungen an Optiken für Materialbearbeitungslaser gerecht werden. Dafür werden hochreine Diamantschichten mittels eigens entwickelten CVD-Reaktoren hergestellt. Diese Reaktoren ermöglichen stabile Plasmabedingungen, so dass Abscheidungen von bis zu mehreren Millimetern Dicke möglich werden.

Projekttitel Diamond4Optics − Komplexe Optiken aus monokristallinem Diamant für Hochleistungsanwendungen in der Photonik  
Laufzeit 2013 – 2015  
Fördermittelgeber Fraunhofer-Gesellschaft − Marktorientierte Vorlaufforschung (MAVO)  
Kooperationspartner
  • Fraunhofer ILT
  • Fraunhofer IPT
 
Projektleiter Dr. Christoph Nebel  
Ziele
  • Erhöhung der Wachstumsrate von hochreinen Diamantschichten durch Optimierung der Parameter im Plasma-CVD-Verfahren
  • Verringerung der Defektdichte in der Diamantstruktur
  • Paralleles Wachstum mehrerer Substrate