Technologie

Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik

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Prozessierung von mikro- und nano-skaligen Bauelementen und Schaltungen

Die Kernkompetenz »Technologie« beinhaltet die Prozessierung von Heterostrukturen auf der Basis von III/V-Verbindungshalbleitern zu integrierten Schaltungen auf der Grundlage von Feldeffekttransistoren, Diodenlasern, Leuchtdioden und Infrarot-Detektoren. Darüber hinaus wird zunehmend die Prozessierung mechanischer Bauelemente für Mikro- und Nano-Sensoren durchgeführt. Die besondere Stärke dieses Bereichs liegt in der hohen Reproduzierbarkeit und Verlässlichkeit der III/V-Technologie für die Prozessierung von mikro- und nano-elektronischen sowie -optischen Bauelementen und Schaltungen auf industriellem Niveau.