Halbleitermaterialien
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik
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- © Fraunhofer IAF
Epitaxie von Heterostrukturen aus modernen Halbleitern
Im Zentrum der Kernkompetenz »Halbleitermaterialien« stehen moderne Epitaxieverfahren zur Herstellung von Bauelementstrukturen aus III/V-Halbleitern sowie die Entwicklung von Diamantschichten, die mit einem am IAF entwickelten CVD-Verfahren hergestellt werden. Die am Institut untersuchten Materialsysteme umfassen alle III/V-Verbindungshalbleiter, von Nitriden, Phosphiden und Arseniden bis hin zu Antimoniden. Weltweit einzigartig ist das am Fraunhofer IAF entwickelte Verfahren zur Diamantabscheidung aus der Gasphase.

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