Diamant-MEMS

Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik

Diamant-MEMS
© Fraunhofer IAF

Mikroelektromechanische Bauelemente aus Diamant mit integriertem Kapillarsystem

Anforderungen

  • Größe: 300 x 50 x 5 µm³
  • Resonanzfrequenz: 200 kHz bis 1 GHz
  • Kapillardurchmesser: 1 bis 20 µm
  • Material: nanokristalliner Diamant
  • Piezo-Antrieb durch Aluminiumnitridschicht
  • Besondere Eigenschaften:

–  optische Transparenz
–  chemisch inert
–  mechanisch extrem robust

Einsatzfelder und Zielmärkte

  • Wasseranalyse
  • hoch aufgelöste DNA-Darstellung
  • Sensoren für Proteine
  • Antikörper und Hormone