Diamant-MEMS
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik
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- © Fraunhofer IAF
Mikroelektromechanische Bauelemente aus Diamant mit integriertem Kapillarsystem
Anforderungen
- Größe: 300 x 50 x 5 µm³
- Resonanzfrequenz: 200 kHz bis 1 GHz
- Kapillardurchmesser: 1 bis 20 µm
- Material: nanokristalliner Diamant
- Piezo-Antrieb durch Aluminiumnitridschicht
- Besondere Eigenschaften:
– optische Transparenz
– chemisch inert
– mechanisch extrem robust
Einsatzfelder und Zielmärkte
- Wasseranalyse
- hoch aufgelöste DNA-Darstellung
- Sensoren für Proteine
- Antikörper und Hormone

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